《半导体级可熔性聚四氟乙烯(PFA)管》团体标准正式发布——保视丽为牵头起草单位
近日,我国石油和化学工业联合会正式发布14项团体标准的公告。其中,由保视丽牵头起草,20余家超纯氟材料高新公司一同参与的《半导体级可熔性聚四氟乙烯(PFA)管》(T/CPCIF 0464-2025)团体标准经我国石油和化学工业联合会标准化工作委员会审查经过并发布,将于2025年12月11日正式实施。
该标准的拟定与实施,将有效填补国内半导体用超高纯材料领域的标准空白,对标准产品质量、提升器件良率、支撑半导体产业链保证与高质量进展具相关键意义。

标准拟定 助力国产半导体加速进展
半导体产业朝着高集成度、高精度方向飞速进展,对湿电子化学品输送关键部件的纯度、稳定性和可靠性提出了极高需求。PFA管当做半导体制造流程中输送超纯水及化学品的关键部件,其质量径直作用到芯片制造的良率和性能。
《半导体级可熔性聚四氟乙烯(PFA)管》团体标准是在参考国际SEMI F57标准的基本上,结合我国半导体产业进展实际,首次对半导体级PFA管的尺寸规格、外观、总有机碳含量、表面粗糙度、金属与非金属离子析出量等关键技术指标作出了系统规定。
尤为值得注意的是,本标准多项技术指标严于国际标准。例如,总有机碳含量需求≤2000 μg/m²(SEMI F57为≤40000 μg/m²),多项金属离子析出量限制需求也显著提升。那些更为严格的规定,体现了我国在高端半导体材料领域的高标准需求,将有效提升国产半导体零部件的可靠性。
牵头起草 保视丽的技术实力担当
保视丽当做本次标准的牵头起草单位,凭借其在氟材料领域的技术积累与产业化经验,为标准的拟定给予了关键实验验证数字等多项支撑。
始终以来,保视丽经过重点突破超净PFA塑化、挤出、真空定径、牵引卷曲另有尺寸控制等关键工艺技术,结合超纯材料配方另有先进的耐高温耐腐蚀精密设备,并对体系中管材的流变性能、不稳定端基分解特性、尺寸公差、表面平滑度、防腐蚀性能与金属离子析出量等关键性能指标的关系开展专门技术探讨,胜利研发出半导体级超净PFA管。
保视丽不但是本次标准的牵头起草者,更是标准的主动促进者。从标准立项论证到技术内涵编制,保视丽主动贡献资产,与参编单位一同研讨、验证与健全,充分展现了其当做超纯氟领域革新公司的责任感与担当。

图:保视丽参加二次团标讨论会
权威背书 赋能半导体基本材料升级
我国石油和化学工业联合会(以下简称“石化联合会”)是石油和化工产业具有业务和必定治理职能的全国性、综合性的公众产业机构,包含“参与拟定产业规划,对产业内重大投入与研发、技术改造、技术引进工程开展前期论证”的关键职能。
该标准的实施将有效标准半导体级超纯PFA管的生产与检验流程,提升产品质量一致性,减少因管道污染致使的芯片不良率,助力我国半导体产业链的自主可控与高质量进展。
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